中國生產(chan)真空泵的廠家(jia)很(hen)多(duo)，我國真空泵製造(zao)業有著悠久(jiu)的曆(li)史和雄厚(hou)的(de)基礎(chu)，國內真空(kong)泵已(yi)在各(ge)個(ge)領(ling)域(yu)得(de)到應用(yong)和驗證，部(bu)分泵也出(chu)口(kou)到國外，得到(dao)了國外用戶的認(ren)可和好(hao)評(ping)。可(ke)以(yi)說，中國真空泵製造業(ye)在國內外市場上還有很大的發展(zhan)空間(jian)。

1.液(ye)環泵

在國外，液體環(huan)泵的銷(xiao)售(shou)占真(zhen)空泵(beng)市場(chang)的14%，僅(jin)次(ci)於(yu)幹泵。由(you)於液體環泵多為(wei)鑄(zhu)件，加工要求不(bu)高，屬(shu)於勞(lao)動(dong)密集型產品(pin)，因此國內液環泵在(zai)價格(ge)上具有競(jing)爭(zheng)優(you)勢(shi)。關鍵是要改(gai)進(jin)設計，真空泵品牌，減(jian)少(shao)體(ti)積(ji)，減輕(qing)重(zhong)量，提(ti)高效率，降(jiang)低能(neng)耗(hao)。

2.滑(hua)閥(fa)泵

真空泵型滑動閥市場在國內外各種真空爐(lu)、塗包機和烘(hong)幹(gan)、浸漬設(she)備(bei)中均作(zuo)為前(qian)置(zhi)泵使用，但(dan)滑動閥泵鑄件(jian)重量(liang)大，加工(gong)工作量大，因此國外真空廠(chang)正在中(zhong)國尋(xun)找(zhao)合(he)作夥(huo)伴(ban)。為使國產滑閥泵進入(ru)國際(ji)市場，2BVA係列(lie)水(shui)環真空泵，有必(bi)要進一(yi)步降低泵的振動和噪(zao)聲(sheng)，消除噴油和泄漏，提高滑閥泵長期運行的可靠(kao)性。

3.直聯旋片泵

隨著(zhu)真空技術在各種應(ying)用領域的不斷擴(kuo)展，對(dui)直接(jie)耦(ou)合旋(xuan)片(pian)泵的需(xu)求不斷增(zeng)加。由於這(zhe)樣(yang)的泵數量很多，加(jia)工和裝配工作量很大，價格很低。因此(ci)，一些(xie)國外真空製(zhi)造商(shang)在中國建立(li)了專(zhuan)業工廠。國內(nei)中小型(xing)直聯(lian)式(shi)旋葉泵已通過技術壁(bi)壘(lei)，其價(jia)格比國外(wai)泵便(bian)宜(yi)得多。因此(ci)，國產水泵仍然具(ju)有競爭優勢。關鍵(jian)是(shi)解決(jue)軸(zhou)封(feng)漏(lou)油問題(ti)，解決旋葉(ye)材料(liao)和真空泵油(you)的性能質量問(wen)題，保(bao)證直聯泵在高(gao)速(su)、高溫下性能穩定、運行(xing)可靠，進一步提高國產直聯旋葉泵的水蒸氣(qi)抽汽性能。能力(li)。

4.羅茨泵

羅茨泵的產值(zhi)不大，但國外羅茨(ci)泵的報(bao)價遠(yuan)高於國產泵。國內外幾乎(hu)所(suo)有的大小(xiao)型高真空和中真空係(xi)統，為了縮(suo)短(duan)抽(chou)運(yun)時(shi)間，提高生(sheng)產效率(lv)，都配(pei)備了(le)羅(luo)茨泵，因此，國內羅茨泵必須在占(zhan)領國內市場的基(ji)礎上(shang)進入國際市(shi)場。這樣，必須(xu)進一步(bu)降低國產羅茨泵的振動和(he)噪聲，解(jie)決軸封漏油問題，提高泵的外觀(guan)質量。萊(lai)寶真空泵。提高泵的光(guang)潔度。此外，在一些國家和地(di)區還需要考(kao)慮(lv)供電頻率為60 Hz的情況下，還(hai)要(yao)保證(zheng)羅茨泵在長時間提速的情(qing)況(kuang)下的可靠性(xing)。

目(mu)前，國內空冷直排羅茨泵發展迅(xun)速，技術成熟(shu)。由於泵在排氣口下設有氣體冷卻(que)器，部分冷卻後的氣體通(tong)過(guo)管(guan)道返回泵室(shi)冷卻轉(zhuan)子，使(shi)壓(ya)縮熱量平衡(heng)，使泵能直接排出空氣。為了滿足不同極限真空度的要求(qiu)，羅茨泵可串(chuan)聯使用。一般在羅茨泵前加裝(zhuang)氣冷直排(pai)羅茨泵，使羅茨泵達到的極限真空度比(bi)前泵高一個數(shu)量級。這種類(lei)型的泵實(shi)際上是幹泵，因為泵室中沒(mei)有工作介質(zhi)。在石油、化工、塑(su)料、農藥(yao)、汽輪(lun)機轉子(zi)動平(ping)衡(heng)、航(hang)天空間模(mo)擬(ni)等(deng)領域，對這種(zhong)空冷(leng)垂(chui)直排氣管泵和機(ji)組進行了長期的試(shi)驗(yan)研究。因(yin)此，黑龍(long)江(jiang)真空泵應在我(wo)國大力推(tui)廣應用。

5.分子泵

分(fen)子泵已在國外半導體領域的許多工藝中被用來替代(dai)低(di)溫泵。特別是濺射(she)、蝕刻(ke)和lcvd裝置，使用複(fu)合分子泵和牽引泵作為主(zhu)泵。

由於分子泵的抽速僅為相(xiang)同(tong)口徑低溫(wen)泵抽速的四分之(zhi)一，因此分子泵的抽速比低溫泵的抽速長。為了提高分子泵的抽速，國外在分子泵進口側(ce)安(an)裝了-130℃~-150℃的低溫冷板，稱為低溫分子泵。蒸(zheng)汽(qi)由低溫板(ban)捕(bu)獲(huo)，其(qi)它(ta)氣體由分子泵抽提。該低溫分子泵在真空鍍膜裝置中的應用，不僅提高了生產效(xiao)率，而且提高了薄膜質量。分子泵應建(jian)立從小到大的完(wan)整係列，並研發各種複合分子泵、牽引泵和低溫分子泵、淄博(bo)水環式真空泵以滿足(zu)不同場合的需要。

6.幹泵

國外幹泵市場的持續增長(zhang)主要是由半(ban)導體產業、化工產業和薄膜(mo)產業的快(kuai)速發(fa)展帶(dai)動的。在日(ri)本，幹式真空泵已被用於替(ti)代半導體工業中的油封機械泵。超(chao)過45％的歐美半導(dao)體工業用幹式真空泵型機械泵取(qu)代了油封式機械泵，極(ji)大地提高了產品的性能和質量。極限壓力為10~10~2 Pa，泵速為20~500 m~3/h。據統(tong)計(ji)，國產幹式泵的應用率不足1%。國內半導體工業用幹式泵全(quan)部從(cong)國外進口，價格昂(ang)貴。